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肯富來真空泵的抽氣技術(shù)
真空系統(tǒng)用泵的選擇是重要的，表明肯富來真空泵應(yīng)靠提供高的抽速（低的Q/S）并且減小由泵到真空室的返流（小的Po）來降低壓強(qiáng)，這里，返流被定義為由泵到系統(tǒng)的任一種氣體流或蒸氣，對(duì)真空系統(tǒng)來說，減少來自泵的污染的目的是同其它任何真空系統(tǒng)一樣的，只是真空系統(tǒng)中極限壓強(qiáng)和所容許的污染程度更低罷了，為了降低污染程度，必須嚴(yán)格遵守正確的抽氣步驟，變暖了的液氮冷阱只要在幾分忡內(nèi)就能將所冷凝的蒸氣返流到阱上方的清潔區(qū)域中去，雖然重新降溫會(huì)阻止進(jìn)一步污染，但事故中已擴(kuò)散到清潔區(qū)域內(nèi)的蒸氣是無法再除掉了，在高真空范圍內(nèi)是無關(guān)緊要的事故會(huì)破壞低壓強(qiáng)下所作的實(shí)驗(yàn)的真實(shí)性。
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