技術(shù)知識
關(guān)于螺桿真空泵的技術(shù)研究現(xiàn)狀
無油螺桿真空泵是上世紀(jì)90 年代進(jìn)入我國真空泵市場的一種新型干式真空泵，它以其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和性能優(yōu)勢而受到業(yè)內(nèi)人們的青睞。目前，這種泵已廣泛應(yīng)用于電子、化工、醫(yī)藥、冶金等眾多領(lǐng)域。也是微電子、IT 產(chǎn)業(yè)、精密加工、空間模擬等高科技行業(yè)的首選真空獲得設(shè)備，在真空泵市場占有越來越大的份額。
在螺桿真空泵的開發(fā)、生產(chǎn)與應(yīng)用過程中，國內(nèi)外相關(guān)科技人員更多地關(guān)注于螺桿轉(zhuǎn)子型線的開發(fā)、螺桿真空泵結(jié)構(gòu)的完善和泵性能指標(biāo)的提高，而對于這種真空泵的抽氣機(jī)理方面更深層次的問題目前尚缺乏探索，比如：泵內(nèi)部被抽氣體所經(jīng)歷的熱力過程、泵的結(jié)構(gòu)與工藝參數(shù)對該熱力過程的影響以及由此所帶來的泵的性能指標(biāo)的改變等。然而，隨著無油螺桿真空泵結(jié)構(gòu)、性能優(yōu)化的提出，以及螺桿泵應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，上述這些抽氣機(jī)制方面的深入研究已成為急需解決的問題，因而需要得到格外的關(guān)注。
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