通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用，吸氣離子泵被電離的氣體會(huì)吸附在有吸氣材料的泵內(nèi)表面上，真空就會(huì)由此形成了，吸氣離子泵分為濺射離子泵和蒸發(fā)離子泵這兩種，下面就問(wèn)大家具體的介紹一些吸氣離子泵的這兩種類型。

　　濺射離子泵使用起來(lái)比較簡(jiǎn)單、而且維護(hù)起來(lái)也比較的簡(jiǎn)單，且費(fèi)用較低，此外，濺射離子泵還具有可靠、無(wú)熱、無(wú)噪聲、無(wú)水、耗電少等優(yōu)點(diǎn);但是，其對(duì)惰性氣體和大分子量的有機(jī)蒸汽抽速較低，對(duì)污染很敏感;此外，濺射離子泵設(shè)有磁鐵，所以其重量和體積都比較大，從而就造成了單位抽速成本高的弊端。

　　蒸發(fā)離子泵的泵內(nèi)被電離的氣體傳輸?shù)揭蚤g斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而復(fù)在泵內(nèi)壁的吸氣材料上而被吸附，對(duì)于氫、氮、氬和氦，蒸發(fā)離子泵都會(huì)出現(xiàn)不同的抽速。