公司動態(tài)
圖說半導(dǎo)體行業(yè)中的真空泵機組合
在半導(dǎo)體行業(yè)中都是采用羅茨真空泵與干泵組成的真空機組，一方面可以減少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范圍內(nèi)獲得較大的抽速。由于羅茨真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤滑，這潤滑油會對真空工藝造成污染。解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路，并用另一臺輔助真空泵將齒輪箱內(nèi)的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力，見圖1所示。
這樣，在這個壓力梯度下，齒輪箱內(nèi)油蒸汽就不會通過迷宮式軸封而進入泵腔造成污染。另外當羅茨真空泵抽除有害氣體時，要求電機傳動軸的密封絕對不能泄漏，因而出現(xiàn)了屏蔽電機羅茨泵，確實做到了零泄漏。
- 佛山市肯富來工業(yè)泵有限公司 版權(quán)所有 Powered by MetInfo ? ? 地址：廣東省佛山市三水區(qū)白坭鎮(zhèn)匯翠路1號、3號
肯富來水泵,水環(huán)式真空泵,肯富來真空泵,肯富來離心泵,肯富來液環(huán)泵