無(wú)油干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他作業(yè)介質(zhì)，并且泵的極限壓力與油封式真空泵平等量級(jí)或許接近的機(jī)械真空泵。盡管可用真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)避免返流，但不能完全解決問題，并且使體系顯得雜亂。而運(yùn)用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則能夠到達(dá)抱負(fù)的運(yùn)用作用。

現(xiàn)在，真空職業(yè)運(yùn)用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充任泵的作業(yè)介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、光滑等多種作用。跟著科學(xué)技術(shù)的開展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展，原有的機(jī)械真空泵及其構(gòu)成的抽氣體系呈現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題：一是泵的作業(yè)介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在很多情況下影響商品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的保護(hù)本錢。其次，因?yàn)槟承┘夹g(shù)過程中的反響物質(zhì)使肯富來(lái)真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)峻變質(zhì)，使泵不能正常作業(yè)。

真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

1)除半導(dǎo)體技術(shù)外的某些發(fā)生微粒的技術(shù)，不期望微?；烊氡糜椭校谕⒘Ｅ懦霰猛?，則用必定型式的干式機(jī)械真空泵能夠滿足要求;

2)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等，要避免有機(jī)溶劑形成污染，適合用干式真空泵;

3)用做通常無(wú)油清洗真空體系的前級(jí)泵，以避免油污染；

4)低壓化學(xué)氣相堆積中的多晶硅制備技術(shù)中;

5)半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)。在這些生產(chǎn)技術(shù)中通常用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

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